根據《中華人民共和國政府采購法》等有關規定，現對物理氣相沉積設備進行其他招標，歡迎合格的供應商前來投標。

項目名稱：物理氣相沉積設備

項目編號：SDJXHD20230397-Z219

項目聯系方式：

項目聯系人：田老師

項目聯系電話：0531-88366151

采購單位聯系方式：

采購單位：山東大學

采購單位地址：山東省濟南市山大南路27號

采購單位聯系方式：魯老師 0531-88363689

一、采購項目內容

半導體器件制備過程中，金屬成膜質量直接決定著器件歐姆接觸的形成和導通阻值、開態電流等性能。該設備的引入能夠解決8英寸碳化硅功率器件正面、背面金屬薄膜均勻性差、相互污染等問題，推動半導體芯片、微納加工等領域關鍵科學和技術的突破。

北方華創微電子裝備公司生產的物理氣相沉積設備，擁有獨家的磁控專利技術，能夠制備致密度高、均一度好、粘結力腔、顆粒度少的金屬薄膜；能在同一平臺上配套多個沉積腔室，保證同一腔室內只沉積一種金屬，避免相互污染，國內其他廠商無法實現該功能。因此，采用單一來源方式采購該設備。

擬定唯一供應商名稱：北京北方華創微電子裝備有限公司

二、開標時間：2023年12月13日 08:45

三、其它補充事宜

資格要求：

1.具有本項目生產、制造、供應或實施能力，符合、承認并承諾履行本文件各項規定的供應商均可參加投標。

2.遵守有關的國家法律、法規和條例，具備《中華人民共和國政府采購法》和本文件中規定的條件：

1)具有獨立承擔民事責任的能力；

2)具有良好的商業信譽和健全的財務會計制度；

3)具有履行合同所必需的設備和專業技術能力；

4)有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；

5)參加政府采購活動前三年內，在經營活動中沒有重大違法記錄；

3.單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的政府采購活動；

4.本次采購不接受聯合體報價。

獲取采購文件：

登錄山東大學采購網（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）進行供應商注冊，注冊完成我中心審核通過后，再次登錄系統在線提交獲取采購文件申請，審核成功后自助下載采購文件。

投標流程：

本項目采用電子招投標方式采購。投標供應商必須按相關程序辦理數字證書和安裝投標文件工具后方可上傳遞交投標響應文件。詳細操作說明見山東大學采購網（www.cgw.sdu.edu.cn）--資料下載--山東大學電子投標指南文件。

發布公告媒介：本次采購公告在中國政府采購網和山東大學采購網中國電力招標采購網http://www.dl-yggm.cn上發布。

公告時間：自本公告發布之日起五個工作日。

四、預算金額：

預算金額：1600.000000 萬元（人民幣）