根據《中華人民共和國政府采購法》等有關規定，現對干法刻蝕設備進行其他招標，歡迎合格的供應商前來投標。

項目名稱：干法刻蝕設備

項目編號：SDJXHD20230345-Z185

項目聯系方式：

項目聯系人：田老師

項目聯系電話：0531-88366151

采購單位聯系方式：

采購單位：山東大學

采購單位地址：山東省濟南市山大南路27號

采購單位聯系方式：魯老師 0531-88363689

一、采購項目內容

擬購買的干法刻蝕設備是碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導體材料的專用刻蝕設備，能夠實現碳化硅半導體的高精度、高選擇比、特殊形貌結構刻蝕。該設備的引入有助于突破碳化硅功率芯片的量產關鍵技術，建立起實訓和創新基地，促進相關學科建設和人才培養。

經用戶調研，SPTS公司擁有碳化硅襯底刻蝕的多項獨家專利，能夠完成低表面缺陷的碳化硅刻蝕和無微溝槽的碳化硅垂直溝道刻蝕，大幅度提高制備的碳化硅功率芯片的耐壓指標，提高生產良率。SPTS公司的干法刻蝕設備在微結構控制方面領先于同類設備，其他廠商的同類設備無法滿足碳化硅芯片微結構刻蝕的要求。擬購買的干法刻蝕設備，擁有腔內污染顆粒監測、流量調節、襯底形變監控等發明專利，能夠對刻蝕腔內部氛圍進行實時探測并做出及時調整，確保刻蝕精度和均一性，提升芯片制備的良率。蘇美達國際技術貿易有限公司為本項目指定代理商。因此采用單一來源方式采購。

擬定唯一供應商名稱：蘇美達國際技術貿易有限公司

二、開標時間：2023年12月13日 09:15

三、其它補充事宜

資格要求：

1.具有本項目生產、制造、供應或實施能力，符合、承認并承諾履行本文件各項規定的供應商均可參加投標。

2.遵守有關的國家法律、法規和條例，具備《中華人民共和國政府采購法》和本文件中規定的條件：

1)具有獨立承擔民事責任的能力；

2)具有良好的商業信譽和健全的財務會計制度；

3)具有履行合同所必需的設備和專業技術能力；

4)有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；

5)參加政府采購活動前三年內，在經營活動中沒有重大違法記錄；

3.單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的政府采購活動；

4.本次采購不接受聯合體報價。

獲取采購文件：

登錄山東大學采購網（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）進行供應商注冊，注冊完成我中心審核通過后，再次登錄系統在線提交獲取采購文件申請，審核成功后自助下載采購文件。

投標流程：

本項目采用電子招投標方式采購。投標供應商必須按相關程序辦理數字證書和安裝投標文件工具后方可上傳遞交投標響應文件。詳細操作說明見山東大學采購網（www.cgw.sdu.edu.cn）--資料下載--山東大學電子投標指南文件。

發布公告媒介：本次采購公告在中國政府采購網和山東大學采購網中國電力招標采購網http://www.dl-yggm.cn上發布。

公告時間：自本公告發布之日起五個工作日。

四、預算金額：

預算金額：1200.000000 萬元（人民幣）