對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2021-02-03在 公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況: 對下列產品及服務進行國際公開招標：硅深槽刻蝕系統、低應力LPCVD設備、檢查顯微鏡、勻膠顯影機、背金工咨詢電話18811547188藝系統。
資金到位或資金來源落實情況:資金已落實
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內容
招標項目編號:0618-214TC210200V/01
招標項目名稱:硅深槽刻蝕系統
項目實施地點:中國安徽省
招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	硅深槽刻蝕系統	1	*2.4.3三個工藝腔同等工藝條件下，工藝指標偏差≤3%	包1
2	低應力LPCVD設備	1	* 3.1.4 每根工藝管產能100片/爐	包2
3	檢查顯微鏡	3	*3.2.1. 晶圓尺寸：6寸（兼容8寸）	包3
4	勻膠顯影機	1	*盒站數量：2個	包4
5	背金工藝系統	1	*電子束蒸發臺設備：顆粒度增量：小于30個/片（>0.5μm）	包5

3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:包1：硅深槽刻蝕系統：
資質要求：
1．投標人可以是設備制造廠家，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；
2．具有設備技術支持和服務能力；
3．提供滿足該標書技術要求的具體設備型號、指標、說明書；
4．應標型號同類型設備5臺及以上最終用戶名單、啟用時間、使用情況說明。
試樣要求：
招標人有權利依次對滿足標書要求的設備進行樣品試制。

包2：低應力LPCVD設備
資質要求：
1．投標人可以是設備制造廠家，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。
2．近5年內，國內MEMS行業低應力氮化硅工藝相關設備4臺以上銷售業績，提供復印件備查。
試樣要求：
招標人有權利依次對滿足標書要求的設備進行樣品試制。

包3：檢查顯微鏡
資質要求：
投標人可以是設備制造廠家，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。要求近3年同品牌同類型全自動設備出貨量大于100臺，競標品牌原廠出貨量可視同代理商出貨量。

包4：勻膠顯影機
資質要求：投標人可以是設備制造廠家，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。聚酰亞胺全自動同類型設備3年內出貨量大于10臺，提供相應證明材料。

包5：背金工藝系統
資質要求：
投標人可以是設備制造廠家，或具備二手設備翻新經營資質的廠家，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；具有設備技術支持和服務能力。
翻新要求：
如設備為二手翻新設備，提供設備出廠時間、設備使用歷史。必須滿足招標文件主要技術指標中翻新要求。全新設備不受此限制。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2021-02-03
招標文件領購結束時間:2021-02-10
是否在線售賣標書:否
評標結果將在必聯網和 公示。
7、聯系方式
招標人:北方電子研究院安徽
未曾在中國電力招標采購網（www.dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
傳真：010-51957412 
手機：13683233285 
QQ:1211306049 
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com

備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。

編輯：chinabidding.co