日    期：2024年 9 月 23 日

招標編號：0722-244FE2144  

項目名稱：VPD晶圓表面污染物分析儀（重新招標）

受重慶芯聯(lián)微電子 委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標，于2024年 9 月 23 日發(fā)布招標公告。
本次招標采用國際公開招標方式。

1. 招標條件

1.1 項目概況：VPD晶圓表面污染物分析儀1臺，全新。

1.2 資金到位或資金來源落實情況:已落實。

1.3 項目已具備招標條件的說明：已具備。

2. 招標內(nèi)容

2.1交貨

比較常見的偵測技術(shù)手段是首先通過VPD (晶圓級氣相分解儀）的方式收集晶圓表面的超微量雜質(zhì)，再結(jié)合ICP-MS（等離子質(zhì)譜儀）進行金屬痕量分析。
此種組合方法的檢出限可以低至 107 原子/厘米2（ppt 級別）。

2.3 交貨時間：合同生效后240天。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

3.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。

3.3 投標人或投標貨物的制造商須具備在近三年（2022年1月1日至今）向5家以上中國大陸12英寸集成電路制造企業(yè)提供離線式VPD設(shè)備，且在先進制程節(jié)點供貨和安裝調(diào)試不低于5臺實績；（需提供業(yè)績合同復印件或驗收證明復印件或制造商出具的所投標產(chǎn)品的客戶銷售清單并加蓋制造商公章作為證明材料）。

3.4本次招標不接受聯(lián)合體投標。

3.5投標人必須向招標代理機構(gòu)

4.
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