談判采購公告

公告編號：DZXYGG202407230003

一、采購項目基本情況

采購項目編號：DZCGXY202407230002

采購項目名稱：PENKIE1 對位報警維修

采購內(nèi)容或范圍：

是否采用費率尋源：否

二、供應商資格要求

1. wafer loader傳輸重復性:AVR<±10um，repeatability<15um，測量次數(shù)為60次，連續(xù)7天。
2. 每日對位報警次數(shù)降低90%:現(xiàn)狀每日報警70—100次），即不超過8次。（統(tǒng)計一個月數(shù)據(jù)為準）
3. 該設備能夠作業(yè):該設備能夠作業(yè)一次光刻
4. 保修期:保修期半年

三、

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聯(lián)系人：李工
傳真：010-51957412?
手機：18811547188?
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來源：中國電力招標采購網(wǎng)?