1. 招標條件

本招標項目12英寸非接觸式光刻機 該項目已具備招標條件，現對12英寸非接觸式光刻機進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250915A008

2.2 招標項目名稱：12英寸非接觸式光刻機。

2.3 數量：1套。

2.4 核心技術指標：

2.4.1 曝光光源：汞燈（i線）

2.4.2 最大光刻面積：≥8英寸

2.4.3 分辨率：優于0.5μm (正性光刻膠厚度1um)

2.4.4 套刻精度：優于±350nm @ 8英寸

2.4.5 曝光時間：≤120s @300mj（8英寸全片超過1.4億個多邊形結構）

2.4.6 掩模版下表面與芯片上表面之間距離不小于10mm

2.5 設備要求：非進口設備、全新、完整、未使用過

2.6 交貨

2.7 交貨期：合同生效后5個月內。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2本次招標不接受代理商投標。

3.3本次招標不接受聯合體投標。

3.4其他要求：授權代表須提供投標截止時間前最近6個月中任意1個月社保證明文件（如果委托代理人的社保不是投標人繳納，需要提供委托代理人和投標人之間的用工合同，投標人委托第三方投保的有效合同證明）。

3.5投標人必須向招標代理機構

4.

未在中國電力招標采購網（www.dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機：18811547188
聯系人：李楊
QQ:1211306049
微信：Li18811547188
郵箱：1211306049@qq.com
來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。
編輯：365trade