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8英寸MEMS晶圓生產線之多晶硅、硅刻蝕機國際招標公告(1)

   2025-04-24 IP屬地 北京市 阿里巴巴中國電力招標采購網dlztb10
核心提示:蘇美達國際技術貿易 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2025-04-24在公告。本
蘇美達國際技術貿易 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2025-04-24在公告。本次招標采用傳統招標方式,現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:設備名稱:多晶硅、硅刻蝕機 數量:1臺設備原理及用途:基本原理:在射頻電壓的作用下,溴化氫和氯氣產生的等離子體和多晶硅反應生成四氯化硅和溴化硅,溴化氫同時有側壁淀積作用,防止側腐,生成物被抽出腔體,最終達到刻蝕的目的。用途:本設備為全新設備,主要用于8英寸MEMS器件各種產品生產中多晶硅導線、硅晶圓標記和硅淺槽的刻蝕工藝。資金到位或資金來源落實情況:已到位項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:0664-2540SUMECA83/03招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產線之多晶硅、硅刻蝕機項目實施地點:中國安徽省招標產品列表(主要設備):
序號 產品名稱 數量 簡要技術規格備注
1 多晶硅、硅刻蝕機 1 該設備主要由主控制系統,全自動傳輸系統,1個刻蝕工藝腔,尾氣處理系統以及相應的射頻系統,氣路系統,制冷系統、真空系統等模塊組成。設備按照滿配來配置相關氣管、Cable、電磁閥、pμmp liner和gas liner等,便于未來增加工藝腔體(設備主體需要至少保留增加2個工藝腔的ai、ao、di/o、stepper等)。其他參數詳見第八章
3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:①投標人如為境內企業,提供企業法人營業執照或事業單位法人證書,如為境外企業提供企業注冊登記證。②投標人可以是設備制造廠家,也可以是設備授權代理商,代理商需有設備原廠家的有效授權書。③投標人開戶行開具的,出具日期在開標前三個月內的資信證明原件或該原件的復印件。④投標人需要具有履行合同所必需的設備技術支持和服務能力(提供相關證明材料或承諾書,承諾書格式自擬)。⑤單位負責人授權書原件。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網(www.dl-yggm.cn)上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件!

項目 聯系人:李楊  
咨詢電話:010-51957458 
傳真:010-51957412 
手機:13683233285 
QQ:1211306049 
微信:Li13683233285 郵箱:1211306049@qq.com

備注:欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后,查看項目業主,招標公告,中標公示等,并下載資格預審范圍,資質要求,招標清單,報名申請表等。為保證您能夠順利投標,具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準,以招標業主的解答為準本。

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