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甬江實驗室采購化學機械拋光機(金屬)等設備項目(重招)國際招標公告(2)

   2024-01-22 中國電力招標采購網dlztb1
核心提示:甬江實驗室采購化學機械拋光機(金屬)等設備項目(重招)國際招標公告(2)項目編號 : 07
甬江實驗室采購化學機械拋光機(金屬)等設備項目(重招)國際招標公告(2)

項目編號 : 0762-2441CBNB2001

公布日期 : 2024-01-22

受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2024年01月22日在 公告。本次招標采用傳統招標方式,現邀請合格投標人參加投標。

1. 招標條件

項目概況:甬江實驗室因發展需要,需采購化學機械拋光機(金屬)設備、等離子體增強化學氣相沉積設備、高深寬比磁控濺射設備各1套。

資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經落實。

  項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件。

2. 招標內容:

招標項目編號:0762-2441CBNB2001

招標項目名稱:甬江實驗室采購化學機械拋光機(金屬)等設備項目(重招)

項目實施

/

2

等離子體增強化學氣相沉積設備

1套

借助微波或射頻使氣體電離,局部形成等離子體,在較低的溫度下沉積薄膜。用于沉積SiO2、SiNx、SiON、P-doped SiO2、Ge-doped SiO2、BPSG、FSG等薄膜。

/

3

高深寬比磁控濺射設備

1套

使用磁控濺射方式用于深硅刻蝕后的硅通孔孔壁沉積阻擋層(Ti或Ta)及電鍍種子層(Cu),防止金屬與Si相互擴散的同時作為后續電鍍孔內填充金屬的導電層。

/

3. 投標人資格要求

3.1特定資格條件:

3.1.1投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商,如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書;

3.2本項目不接受聯合體投標。

3.3未領購招標文件不可以參加投標。

4.

備注:您的權限不能瀏覽詳細內容,非正式會員請聯系辦理會員入網注冊事宜,并繳費成為正式會員后登錄網站會員區可查看招標公告、招名方式或下載報名表格等詳細內容!為保證您能夠順利投標,具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準。

咨詢聯系人:李工
咨詢電話:010-51957458
傳真:010-51957412
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郵箱:1211306049@qq.com
來源:中國電力招標采購網?編輯:cbbiddin

 
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