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中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)公開招標(biāo)公告

日期：2020-09-27 來源：中國(guó)電力招標(biāo)采購網(wǎng) 作者：dlztb 瀏覽：4

公告信息：

采購項(xiàng)目名稱

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)

品目

貨物/通用設(shè)備/機(jī)械設(shè)備/其他機(jī)械設(shè)備

采購單位

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

行政區(qū)域

上海市

公告時(shí)間

2020年09月25日 22:10

一、項(xiàng)目基本情況
預(yù)算金額：190.0000000 萬元（人民幣）
最高限價(jià)（如有）：190.0000000 萬元（人民幣）
采購需求：
二維IC工藝和三維MEMS加工而成的異質(zhì)集成的傳感器表面會(huì)有各種臺(tái)階、高深寬比的孔洞、槽等結(jié)構(gòu)，需要臺(tái)階覆蓋能力強(qiáng)的薄膜沉積技術(shù)。此外，由于材料晶格結(jié)構(gòu)、熱膨脹系數(shù)的差異，異質(zhì)集成的襯底不可避免的會(huì)出現(xiàn)翹曲，需要保形薄膜沉積技術(shù)；圓片級(jí)的異質(zhì)集成封裝涉及各種襯底，需要一種新的低溫鍵合技術(shù)。高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)的主要功能為：（1）具有三維保形薄膜沉積能力，具有良好的臺(tái)階覆蓋能力，能在高深寬比的孔洞中進(jìn)行薄膜沉積；（2）以沉積的納米薄膜為媒介能實(shí)現(xiàn)封裝蓋板和各種異質(zhì)集成襯底之間的低溫鍵合；（3）對(duì)200mm晶圓，薄膜厚度不均勻性小于±1%。具體詳見招標(biāo)文件第八章。
合同履行期限：合同簽訂后6個(gè)月內(nèi)。
本項(xiàng)目( 不接受 )聯(lián)合體投標(biāo)。
二、申請(qǐng)人的資格要求：
1.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購法》第二十二條規(guī)定；
2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求：
節(jié)約能源、保護(hù)環(huán)境、扶持不發(fā)達(dá)地區(qū)和少數(shù)民族地區(qū)、促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展、支持監(jiān)獄、戒毒企業(yè)發(fā)展、促進(jìn)殘疾人就業(yè)、優(yōu)先采購貧困地區(qū)農(nóng)副產(chǎn)品等政府采購政策。
3.本項(xiàng)目的特定資格要求：1）近三年內(nèi)（本項(xiàng)目招標(biāo)截止期前）被“信用中國(guó)”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的、被“中國(guó)政府招標(biāo)網(wǎng)”網(wǎng)站列入政府招標(biāo)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單（處罰期限尚未屆滿的），不得參與本項(xiàng)目；2）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位，不得參加同一標(biāo)包投標(biāo)或者未劃分標(biāo)包的同一項(xiàng)目。
三、（北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）

六、其他補(bǔ)充事宜
現(xiàn)場(chǎng)購買：有意向的投標(biāo)人可攜帶報(bào)名表（詳見招標(biāo)公告附件）、營(yíng)業(yè)執(zhí)照復(fù)印件（加蓋公章）、法人代表授權(quán)書原件、被授權(quán)代表身份證（復(fù)印件加蓋公章））至上海市共和新路1301號(hào)C座108室進(jìn)行報(bào)名
網(wǎng)上購買：有意向的投標(biāo)人將報(bào)名表（詳見招標(biāo)公告附件）、營(yíng)業(yè)執(zhí)照掃描件、法定代表人（單位負(fù)責(zé)人）授權(quán)委托書原件、委托代理人身份證明（復(fù)印件加蓋公章）的掃描件和購買標(biāo)書登記表（詳見附件）
招標(biāo)文件售價(jià)：每包件售價(jià)人民幣 500 元（招標(biāo)文件售后不退）。
注：我公司只接受公司轉(zhuǎn)賬，不接受個(gè)人轉(zhuǎn)賬。
開戶名：上海中招招標(biāo)
銀行帳號(hào)：0208014210004789
摘要：STC20A280標(biāo)書費(fèi)或投標(biāo)保證金
七、對(duì)本次招標(biāo)提出詢問，請(qǐng)按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名稱：中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所　　　　　
2.采購代理機(jī)構(gòu)信息
名稱：上海中招招標(biāo) 　　　　　　　　　　　　
地　 3.項(xiàng)目電　

沒有在 中國(guó)電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dl-yggm.cn）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！

聯(lián)系人：李楊
咨詢電話：010-51957458?
手機(jī)：13683233285?
傳真：010-51957412?
QQ:1211306049?
微信：Li13683233285
郵箱：1211306049@qq.com

來源：中國(guó)電力招標(biāo)采購網(wǎng)?編輯：mof.go

標(biāo)簽： 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)公開招標(biāo)公告

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