天和項目管理 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2020-04-22在 公告。本次招標采用電子招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:哈爾濱工業大學光機電多功能集成器件微納制造系統
資金到位或資金來源落實情況:國撥資金180萬元，資金已落實
項目已具備招標條件的說明:項目已批復
2、招標內容
招標項目編號:2243-204THJD20001
招標項目名稱:哈爾濱工業大學光機電多功能集成器件微納制造系統（二次）
項目實施地點:中國黑龍江省
招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	光機電多功能集成器件微納制造系統	1套	1. 硬件指標： 1.1. * 硬件基于高速數字信號處理器（DSP）技術，掃描頻率不低于20 MHz。 1.2. * 最小駐留時間不高于50ns，最小駐留時間增量不高于1ns。 1.3. 配備用于X和Y方向束偏轉的兩塊高速數據收集和控制系統（16位） 1.4 * 需配備6塊乘法數模，16位高速數據收集和控制系統，通過硬件精確修正寫場的平移、傾斜、旋轉等畸變；可以控制步長低于納米量級，最小步距增量不大于0.1nm。 1.5. * 含有多路徑信號路由器，用于連接多種裝置并且自動進行信號通道切換 1.6. 提供電子束曝光工具箱，內含常用工具，橡皮球用于幫助聚焦，已涂好光刻膠的樣片等 1.7. * 提供通用樣品臺， 采用卡鉗的方式固定小樣片，樣品尺寸最大為20 x 20 mm。 1.8. * 提供用于寫場精細校準的CHESSY，和用于測量束電流的法拉第杯。 1.9. 提供一個離線數據準備軟件使用許可 1.10. 提供專用工作站一套，不小于23寸平板顯示器，已預裝好Windows 系統和專業的電子束曝光應用軟件。 2. 軟件指標 2.1. 基于Windows 系統的軟件包，32位架構。使用Microsoft scripting語言形式，方便用戶設定參數，進而實現全自動運行。 2.2. 多用戶環境，每個用戶可以使用獨立的文件和參數。 2.3. 具有遠程控制SEM-FIB功能的詳細任務列表。 2.4. * 無縫集成GDSII編輯器，可對曝光圖形進行分層設計，最多可以分為63層，具有處理復雜圖形的能力。 2.5. 數據輸入格式可以為GDSII, DXF, ASCII, CIF等 2.6. * 多種掃描方式可供選擇，如矢量掃描方式、圓形掃描模式、不等邊四邊形的線性曝光或者曲線掃描、任意形狀的單像素線或點進行曝光、位圖或光柵掃描等。特別是圓形掃描模式，無需對圓形類結構進行圖形分割，可以實現軸對稱的快速圖形填充，保證了圓形類結構的光滑。 2.7. * 具備直接對準模式，實現在真實的成像圖像上進行GDSII文件編輯，用于精確的對準和套刻。 2.8. * 具有工藝處方管理功能，常用工藝參數可以自定義文件名保存，日后使用可隨時調用。 2.9. 圖形對準，用戶可手動完成，或全自動方式完成。 2.10. 集成的圖象采集和尺寸度量功能 2.11. * 所有軟件均需由原廠提供，不接書、被授權委托人的身份證明、經營所在地注冊的有關證件、經銷協議或生產商授權函（代理商作為投標人適用）、《哈爾濱工業大學招標采購項目投標報名登記表》、《投標人誠信承諾書》。 國內投標 是否接受聯合體投標:不接受 未領購招標文件是否可以參加投標:不可以 4、招標文件的獲取 招標文件領購開始時間:2020-04-22 招標文件領購結束時間:2020-04-28 是否在線售賣標書:是 評標結果將在必聯網和 公示。 7、聯系方式 招標人:哈爾濱工業大學

未曾在中國電力招標采購網（www.dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯系人：李楊  
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備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。

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