在線條寬測(cè)量系統(tǒng)已具備招標(biāo)條件，項(xiàng)目 （招標(biāo)機(jī)構(gòu)），現(xiàn)對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開招標(biāo)。
1.招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)
1.1貨物需求一覽表
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序號(hào) |
貨物名稱 |
數(shù)量 |
交貨期 |
交貨地點(diǎn) |
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1 |
在線條寬測(cè)量系統(tǒng) |
1臺(tái) |
合同生效5月內(nèi)交付使用 |
境外提供貨物的目的港：CIP上海機(jī)場(chǎng) 境內(nèi)提供貨物的到貨 |
1.2在線條寬測(cè)量系統(tǒng)主要用于1um及以下電路制造過(guò)程中各關(guān)鍵層次條寬測(cè)量。CD監(jiān)控對(duì)半導(dǎo)體制造工藝控制十分關(guān)鍵，普通的SEM已經(jīng)無(wú)法有效測(cè)試CD，并且無(wú)法避免測(cè)試過(guò)程中對(duì)圓片本身的損傷，專用的條寬測(cè)量?jī)x主要用途為對(duì)條寬尺寸的精確測(cè)量，使用低電壓表面掃描技術(shù)對(duì)圓片圖形進(jìn)行成像處理，對(duì)圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，得到圖形的準(zhǔn)確尺寸，同時(shí)避免對(duì)器件結(jié)構(gòu)的損傷。是工藝在線控制的主要測(cè)量工具。
1.3招標(biāo)編號(hào)：1473-200084H00401。
2.對(duì)投標(biāo)人的資格要求
2.1投標(biāo)人應(yīng)為獨(dú)立的法人機(jī)構(gòu)，能夠獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任，具有有效的營(yíng)業(yè)執(zhí)照或有效的公司注冊(cè)登記證明材料。
2.2投標(biāo)人如為代理商，需提供制造商出具的擬投標(biāo)產(chǎn)品在本項(xiàng)目的授權(quán)證明。
2.3投標(biāo)人應(yīng)具有良好的財(cái)務(wù)狀況,投標(biāo)人須提供其
2.4投標(biāo)人應(yīng)該提供近五年（2015年-2019年）在中國(guó)大陸地區(qū)銷售的同型號(hào)或相似型號(hào)的業(yè)績(jī)，業(yè)績(jī)不少于10個(gè)用戶；要求提供銷售合同（合同供貨方應(yīng)當(dāng)為投標(biāo)人或其所代理的制造商）或驗(yàn)收證明。（如果投標(biāo)人所提供的合同復(fù)印件未能顯示所銷售貨物、合同的供貨方等能夠證明上述要求的內(nèi)容，則不認(rèn)可該份合同）。
2.5本項(xiàng)目不接代理人（同投標(biāo)文件中授權(quán)委托人）姓名及
逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點(diǎn)（包裹非接收人簽收，包裹投遞至自提柜或代收站點(diǎn)或其他地點(diǎn)的）或者投標(biāo)文件非一個(gè)快遞包裹導(dǎo)致數(shù)量缺失的，招標(biāo)人將不予受理。
（3）現(xiàn)場(chǎng)遞交紙質(zhì)版投標(biāo)文件的，以實(shí)際遞交并簽到登記時(shí)間為準(zhǔn)。
（4）郵寄遞交紙質(zhì)版投標(biāo)文件的，以收件人實(shí)際收到快遞包裹及包裹簽收為準(zhǔn)。
4.3投標(biāo)文件遞交的地點(diǎn)（同郵寄地點(diǎn)）：
（1）招標(biāo)人郵寄地
收件
4.5 逾期送達(dá)的或者未送達(dá)指定地點(diǎn)的投標(biāo)文件，招標(biāo)人不予受理。
5.開標(biāo)
5.1 開標(biāo)時(shí)間為2020年04月30日09時(shí)00分，開標(biāo)地點(diǎn)為 8號(hào)樓二層208會(huì)議室。
6.
未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.dl-yggm.cn）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說(shuō)明下載投標(biāo)文件！
項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
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