湖南國聯(lián)招標(biāo) 對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2019-11-28在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:項(xiàng)目名稱: 株洲中車時(shí)代電氣股份 全自動(dòng)膜厚測(cè)量?jī)x、自動(dòng)顆粒測(cè)量?jī)x、全自動(dòng)套刻精度量測(cè)設(shè)備、注入劑量檢測(cè)設(shè)備及服務(wù)采購項(xiàng)目；
招標(biāo)貨物 全自動(dòng)膜厚測(cè)量?jī)x，數(shù)量2臺(tái)；
自動(dòng)顆粒測(cè)量?jī)x，1臺(tái)；
全自動(dòng)套刻精度量測(cè)設(shè)備(Overlay)，1臺(tái)；
注入劑量檢測(cè)設(shè)備，1臺(tái)；

全自動(dòng)膜厚測(cè)量?jī)x： 該設(shè)備采用橢偏加反射方法，能實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量方式，自動(dòng)硅片傳輸處理，自動(dòng)測(cè)量和分析，數(shù)據(jù)自動(dòng)map和存儲(chǔ)和自動(dòng)校準(zhǔn)等；能夠?qū)iO2膜，多晶硅膜、BPSG、氮化硅、光刻膠膜等單層或多層薄膜進(jìn)行無損自動(dòng)測(cè)量；能對(duì)直徑8英寸的硅片進(jìn)行膜厚及其均勻性測(cè)量 ；能夠?qū)φ凵渎蕁、消光系數(shù)k等薄膜特性參數(shù)進(jìn)行測(cè)量和分析。
自動(dòng)顆粒檢測(cè)儀主要技術(shù)參數(shù)：用于200mm硅片表面顆粒自動(dòng)檢測(cè)，設(shè)備需要能夠抓取到0.1μm及以下的缺陷，對(duì)于不同的缺陷進(jìn)行自動(dòng)分類、統(tǒng)計(jì)，并可以顯示出缺陷分布圖。
全自動(dòng)套刻精度量測(cè)設(shè)備(Overlay)：用于半導(dǎo)體制造硅片光刻工藝中，前后層圖形套刻精度量測(cè)的設(shè)備，該套刻精度測(cè)量設(shè)備能夠?qū)z測(cè)結(jié)果分析并反饋給曝光機(jī)進(jìn)行自動(dòng)校正。
注入劑量檢測(cè)設(shè)備：該設(shè)備用于200mm芯片制造離子注入工藝后的監(jiān)控 ，可以滿足Pattern Wafer與Monitor wafer測(cè)試要求。
本項(xiàng)目所有招標(biāo)設(shè)備不分散中標(biāo)。
詳見招標(biāo)文件第八章貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格。
交貨時(shí)間：收到中標(biāo)通知后6個(gè)月內(nèi)賣方工廠發(fā)貨；
指定到貨全新或原廠翻新設(shè)備 自動(dòng)顆粒測(cè)量?jī)x 1臺(tái) 用于200mm硅片表面顆粒自動(dòng)檢測(cè)，設(shè)備需要能夠抓取到0.1μm及以下的缺陷，對(duì)于不同的缺陷進(jìn)行自動(dòng)分類、統(tǒng)計(jì)，并可以顯示出缺陷分布圖。全新或原廠翻新設(shè)備 全自動(dòng)套刻精度量測(cè)設(shè)備(Overlay) 1臺(tái) 用于半導(dǎo)體制造硅片光刻工藝中，前后層圖形套刻精度量測(cè)的設(shè)備，該套全新或原廠 注入劑量檢測(cè)設(shè)備 1臺(tái) 該設(shè)備用于200mm芯片制造離子注入工藝后的監(jiān)控 ，可以滿足Pattern Wafer與Monitor wafer測(cè)試要求。全新設(shè)備
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):投標(biāo)人具有所投設(shè)備的制造或銷售資格，其他詳見第八章貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時(shí)間:2019-11-28
招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時(shí)間:2019-12-05
是否在線售賣標(biāo)書:否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)購
招標(biāo)文件領(lǐng)購
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時(shí)間 :2019-12-19 10:00
投標(biāo)文件 未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dl-yggm.cn）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
傳真：010-51957412 
手機(jī)：13683233285 
QQ:1211306049 
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com

備注：欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊(cè)網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費(fèi)后，查看項(xiàng)目業(yè)主，招標(biāo)公告，中標(biāo)公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標(biāo)清單，報(bào)名申請(qǐng)表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購買標(biāo)書操作流程按公告詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)，以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。

編輯：chinabidd