上海交通大學物理與天文學院感應耦合等離子刻蝕機采購項目招標公告
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項目名稱 |
物理與天文學院感應耦合等離子刻蝕機采購項目 |
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項目編號 |
招(設)[2019][B]085號 |
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項目內容 |
采購內容：感應耦合等離子刻蝕機； 數 量：1臺 預算金額：人民幣98.00萬元。 簡要規格描述或項目基本概況介紹：2.1本底真空: 優于 5×10^-4 Pa；★2.2射頻電源： Source功率不低于1200W， Bias功率不低于1000W，射頻電源帶自動匹配器。其余詳見“第五部分設備技術規格與商務要求” |
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交貨地點 |
交大用戶指定地點 |
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交貨期 |
簽訂合同后三個月內 |
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付款方式 |
預付30%，驗收合格后付60%，質保期后付10% |
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招標 | |||
項目 聯系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com
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編輯：chinabidd
